Obnovljivost rezultata mjerenja dubine brazda na etalonima na etalonima hrapavosti

završni rad

• Naslov (engleski): Reproducibility of grooves depth measuring results on roughness reference standards
• Autor: Ivan Guliš
• Mentor: Biserka Runje (mentor)
• Ustanova koja je dodijelila akademski / stručni stupanj: Sveučilište u Zagrebu; Fakultet strojarstva i brodogradnje; Zagreb
• Datum i država obrane: 2011-02-10, Hrvatska
• Znanstveno / umjetničko područje, polje i grana: TEHNIČKE ZNANOSTI; Strojarstvo

Sažetak

Rad govori o obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde na etalonima hrapavosti LFSB-a. U prvom dijelu rada dat je pregled osnovnih karakteristika referentnih etalona hrapavosti koji su razvijenu u LFSB-u. Taj dio govori kakvom su tehnologijom izrađeni ti etaloni, sam postupak dobivanja brazde na silicijskoj pločici te o mjernim površinama koje su važne jer se na svakoj od tih površina vrši određeno mjerenje. Nakon toga su prikazane mjerne metode i uređaji u nanomjeriteljstvu. Nakon osnovnog dijela dat je pregled mjernih metoda i uređaja koji su nama važni jer su na njima mjereni referentni etaloni hrapavosti. Za mjerenje smo koristili elektroničko mehanički uređaj s ticalom (Perthometar S8P), interferenciju svijetlosti, polarizacijsku metodu te mikroskop atomskih sila. Svaka metoda i uređaj detaljnije su opisani. U završnom dijelu rada su prikazani stvarni rezultati mjerenja dubine brazdi na sedam etalona hrapavosti. Na temelju donesenih rezultata mjerenja, sukladno zahtjevima norme ISO 5725 prikazana je analiza mjerne ponovljivosti i obnovljivosti za svaki referentni etalon hrapavosti. Na kraju je zaključak koji je donesen na temelju tih rezultata mjerenja. U zaključku se nalazi analiza mjerenja stvarnih rezultata te sama poboljšanja koja treba ostvariti.

• Ključne riječi: obnovljivost; ponovljivost; etaloni; nanomjeriteljstvo; inreferencija svijetlosti; polarizacija; elipsometar; perthometar; mikroskop atomskih sila
• Jezik: hrvatski
• URN:NBN: urn:nbn:hr:235:911744
• Studijski program: Naziv: Strojarstvo; Vrsta studija: sveučilišni; Stupanj studija: preddiplomski; Akademski / stručni naziv: sveučilišni/a prvostupnik/ prvostupnica (baccalaureus/baccalaurea) inženjer/inženjerka strojarstva (univ. bacc. ing. mech.)
• Vrsta resursa: Tekst
• Način izrade datoteke: Izvorno digitalna
• Prava pristupa: Otvoreni pristup
• Datum i vrijeme pohrane: 2019-05-21 21:25:03