Obnovljivost rezultata mjerenja dubine brazda na etalonima na etalonima hrapavosti

undergraduate thesis

• Title (english): Reproducibility of grooves depth measuring results on roughness reference standards
• Author: Ivan Guliš
• Mentor: Biserka Runje (mentor)
• Granter: University of Zagreb; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture; Zagreb
• Defense date and country: 2011-02-10, Croatia
• Scientific / art field, discipline and subdiscipline: TECHNICAL SCIENCES; Mechanical Engineering

Abstract

Rad govori o obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde na etalonima hrapavosti LFSB-a. U prvom dijelu rada dat je pregled osnovnih karakteristika referentnih etalona hrapavosti koji su razvijenu u LFSB-u. Taj dio govori kakvom su tehnologijom izrađeni ti etaloni, sam postupak dobivanja brazde na silicijskoj pločici te o mjernim površinama koje su važne jer se na svakoj od tih površina vrši određeno mjerenje. Nakon toga su prikazane mjerne metode i uređaji u nanomjeriteljstvu. Nakon osnovnog dijela dat je pregled mjernih metoda i uređaja koji su nama važni jer su na njima mjereni referentni etaloni hrapavosti. Za mjerenje smo koristili elektroničko mehanički uređaj s ticalom (Perthometar S8P), interferenciju svijetlosti, polarizacijsku metodu te mikroskop atomskih sila. Svaka metoda i uređaj detaljnije su opisani. U završnom dijelu rada su prikazani stvarni rezultati mjerenja dubine brazdi na sedam etalona hrapavosti. Na temelju donesenih rezultata mjerenja, sukladno zahtjevima norme ISO 5725 prikazana je analiza mjerne ponovljivosti i obnovljivosti za svaki referentni etalon hrapavosti. Na kraju je zaključak koji je donesen na temelju tih rezultata mjerenja. U zaključku se nalazi analiza mjerenja stvarnih rezultata te sama poboljšanja koja treba ostvariti.

• Keywords: obnovljivost; ponovljivost; etaloni; nanomjeriteljstvo; inreferencija svijetlosti; polarizacija; elipsometar; perthometar; mikroskop atomskih sila
• Language: croatian
• URN:NBN: urn:nbn:hr:235:911744
• Study programme: Title: Mechanical Engineering; Study programme type: university; Study level: undergraduate; Academic / professional title: sveučilišni/a prvostupnik/ prvostupnica (baccalaureus/baccalaurea) inženjer/inženjerka strojarstva (sveučilišni/a prvostupnik/ prvostupnica (baccalaureus/baccalaurea) inženjer/inženjerka strojarstva)
• Type of resource: Text
• File origin: Born digital
• Access conditions: Open access
• Created on: 2019-05-21 21:25:03