Primjena etalona hrapavosti LFSB u nano području

master's thesis

• Title (english): The use of LFSB roughness standards in nano field
• Author: Ivana Ropuš
• Mentor: Sanjin Mahović (mentor)
• Granter: University of Zagreb; Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture; Zagreb
• Defense date and country: 2010-03-25, Croatia
• Scientific / art field, discipline and subdiscipline: TECHNICAL SCIENCES; Mechanical Engineering

Abstract

Radom je dan uvid u 2D i 3D sustav ispitivanja hrapavosti površina, u mjerne zahtjeve u mikro i nano mjeriteljstvu, te metodologije izrade etalona. Osim toga dane su značajke etalona za umjeravanje uređaja s ticalom sukladno zahtjevima norme ISO 5436–1:2000. U nastavku rada dan je pregled danas dostupnih etalona u podrčju dimenzionalnog mikro i nanomjeriteljstva, te su isti popraćeni i dodatnim pojašnjenjima. Nadalje, navedeni su i opisani uređaji za ispitivanje teksture površina, a za iju provjeru točnosti i podešavanje se koriste ovdje navedeni etaloni. Takoder, izvren je uvid u mjeriteljske sposobnosti nacionalnih mjeriteljskih instituta u svijetu pri cemu je utvrdeno da su etaloni hrapavosti LFSB – a jo uvijek aktualni svojim mjeriteljskim znaajkama. U nastavku rada, temeljem informacija o znaajkama etalona u podruju mikro i nanomjeriteljstva dan je i pregled materijala koji se danas koriste za izradu zahtijevanih struktura etalona. Ujedno, uzeta su u obzir saznanja o materijalima koji se koriste za izradu struktura etalona te njihovih prevlaka. Imajui u vidu prethodno navedeno, a s obzirom na problem osiguravanja uvjeta obnovljivosti rezultata mjerenja dubine brazde na LFSB-ovim etalonima, u radu je predloženo da se dio površine etalona prevuče sa 100 nm kroma. Krom je odabran zbog svojih mehanikih, optičkih i električnih svojstava koje ga ine pogodnim za provedbu mjerenja koristeći različite mjerne metode. U radu su prikazani rezultati ispitivanja svojstava tanke prevlake kroma koristeći elektroniko-mehaniki uređaj s ticalom, interferometrijski mikroskop i pretrani elektronski mikroskop.

• Keywords: ispitivanje hrapavosti povrine; kromna prevlaka
• Language: croatian
• URN:NBN: urn:nbn:hr:235:570319
• Study programme: Title: Mechanical Engineering; Study programme type: university; Study level: graduate; Academic / professional title: magistar/magistra inženjer/inženjerka strojarstva (magistar/magistra inženjer/inženjerka strojarstva)
• Type of resource: Text
• File origin: Born digital
• Access conditions: Access restricted to students and staff of home institution
• Created on: 2019-05-21 19:33:48